23 Dic HORIBA lanza el sistema de monitoreo de soluciones químicas CS-1000
HORIBA CS-1000: monitoreo de químicos para semiconductores
El CS-1000 mejora los procesos de fabricación de semiconductores al permitir la medición simultánea de tres parámetros en soluciones químicas con componentes de baja concentración.
HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. ha lanzado su nuevo sistema de monitoreo de soluciones químicas CS-1000. La serie CS de analizadores, que mide en tiempo real la concentración de químicos utilizados en procesos de fabricación de semiconductores, atiende las necesidades de la industria desde su lanzamiento en 1995.
El CS-1000 es un sistema autónomo que detecta químicos específicos en soluciones en cantidades traza (nivel de ppm[1]) sin necesidad de pretratamiento, gracias a un algoritmo único (patente pendiente[2]) que combina el análisis de absorbancia,[3] conductividad y pH. Habilita mediciones simultáneas de tres parámetros —concentración (hasta ocho componentes), conductividad y pH— con un ciclo de actualización de solo seis segundos.[4]
Con aproximadamente cuatro horas[5] de mantenimiento cada seis meses, el CS-1000 reduce los tiempos de inactividad. Además, permite la medición simultánea de dos soluciones químicas diferentes, incrementando la productividad.
Con la miniaturización de semiconductores, los químicos utilizados en su fabricación se han vuelto más diversos, con muchos componentes en trazas. Esto exige un control de calidad estricto que abarque múltiples parámetros. La medición de componentes a nivel de ppm ha sido especialmente desafiante, debido a la necesidad de pretratamiento y a la dificultad de realizar mediciones continuas en tiempo real.
Takuya Onoda, Gerente de Línea de Productos de HORIBA Advanced Techno, explica: “Desarrollamos el CS-1000 como un modelo todo en uno para respaldar las tecnologías de fabricación de semiconductores más avanzadas, desarrollando aún más las funciones avanzadas de la serie CS. Como modelo autónomo, puede instalarse de forma independiente en cualquier instalación de producción. Con su experiencia en medición de agua y líquidos, HORIBA Advanced Techno está comprometida a apoyar la industria de semiconductores, ofreciendo productos y tecnologías de alto valor agregado”.
CS-1000: características y aplicaciones
El CS-1000 permite la gestión de la concentración de soluciones químicas multicomponentes con elementos traza utilizados en el proceso BEOL. Los componentes a nivel de ppm en soluciones químicas pueden detectarse sin pretratamiento. El sistema todo en uno, consolidado en un gabinete independiente, se instala directamente en el sitio de fabricación.
Características principales
- Detección de componentes en baja concentración a nivel de ppm: gracias a un espectrómetro con rango de longitud de onda expandido y resolución aumentada, combinado con señales de medidores de pH y conductividad, es posible detectar componentes en trazas.
- Medición simultánea de dos soluciones químicas diferentes: el dispositivo cuenta con dos líneas de flujo de muestra independientes, que permiten mediciones simultáneas completamente aisladas.
- Solo 4 horas de mantenimiento cada seis meses: incluye medidor de pH con calibración automática. El mantenimiento requiere únicamente reemplazar la lámpara y las botellas de solución interna y de calibración.
[1] 1 ppm = partes por millón. Para componentes líquidos, 1 ppm equivale a 1 mg de un componente en 1 litro de líquido.
[2] Se han presentado solicitudes de patente en Japón, EE. UU., Corea y Taiwán.
[3] Grado en que la luz irradiada sobre un líquido es absorbida. Dado que la luz es absorbida a longitudes de onda características según el tipo de solución y su concentración, la concentración puede deducirse midiendo la absorbancia.
[4] El tiempo de medición puede variar según las condiciones de aplicación.
[5] La frecuencia y el tiempo de mantenimiento pueden variar según las condiciones de uso.
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